■ 概述
早期,半導體設備提供的數據接口千差萬別,上位系統集成的困難度與復雜程度極高。SECS/GEM標準通訊協議應運而生,設備制造商只要提供符合通訊標準規范的設備,便可快速地整合在CIM(計算機集成制造)的管理系統,可極大壓縮設備開發周期及項目成本。
隨著300毫米晶圓的推出,需要機器人(AGV/OHT)自動將材料輸送到每臺設備,改進過程控制并獲得準確的分析以跟蹤設備性能,使其變得更加自動化以提高吞吐量 。國際半導體協會制定了SECS/GEM(300)標準以滿足上述要求。
亞控半導體通訊平臺KingSECSGEM提供豐富的細分產品,提供多種方案,以滿足客戶的SECS/GEM(300)通訊需求。
產品分類:
· SECS/GEM(300)協議通訊接口開發包
· SECS/GEM(300)協議設備數據轉發工具
· 半導體工廠設備數據采集平臺
· 接口開發包——KingExGem
- KingExGem為半導體設備軟件提供C++或C#語言的API。它可以幫助設備供應商為半導體設備快速開發的SECS/GEM協議通訊接口,以便接入到半導體產線中。
· 接口開發包——KingExGem300
- KingExGem300為半導體設備軟件提供C++或C#語言的API。它可以幫助設備供應商為半導體設備快速開發的SECS/GEM300協議通訊接口,以便接入到半導體產線中。
· 接口開發包——KingExGemH
- KingExGemH為主機軟件提供C++或C#語言的API。它可以幫助半導體制造企業為工廠自動化系統快速開發SECS/GEM協議通訊接口,實現SECS/GEM設備數據采集并通過SECS指令實現生產流程控制,滿足工廠的自動化生產需求。
· 轉發工具——KingSecsGemTransmitter
- KingSecsGemTransmitter為半導體設備軟件提供SECS/GEM協議通訊接口的數據轉發服務,使設備軟件能夠間接地和主機軟件通訊。它擔任通訊的橋梁,一端通過多種通訊接口(OPC DA, OPC UA, Web Service, API, Restful等)連接設備軟件或硬件,一端通過SECS/GEM協議通訊接口連接主機軟件,間接地實現設備SECS/GEM協議通訊接口的開放。它極大的縮短開發周期,是更為便捷的通訊方案,對缺乏軟件開發團隊的設備供應商來說是個極大的利好。
· 轉發工具——KingSecsGem300Transmitter
- 在KingSecsGemTransmitter功能基礎之上,支持SECS/GEM300標準通訊協議,包含:載具管理、基板追蹤、控制作業、處理作業。
· 采集平臺——KingIOServerSecsGem
- KingIOServerSecsGem搭載于數據采集平臺KingIOServer或KingView,它無需代碼開發便可以協助通訊平臺與設備按照SECS/GEM標準接口通訊,實現SECS/GEM設備數據采集并通過SECS指令實現生產流程控制,滿足工廠的自動化生產需求。
■ 產品特性
· 支持多種編程語言
- 接口開發包支持C、C++ 和C# 三種語言,高效穩定,應用領域廣泛,用戶可以輕松完成二次開發和系統集成。
· 簡單易用
- 三種產品都提供詳細的使用文檔,學習成本低;接口庫支持GEM場景自動管理,減少開發工作量;提供GEM場景的參數配置、驗證和運行模擬軟件。
· 靈活擴展
- 三種產品都支持SECS-II 消息自定義,可幫助客戶應對多種不同場景和定制需求。
· 覆蓋領域廣
- 產品豐富多樣,可提供多種方案,使得設備支持SECS/GEM(300)通訊接口,或使客戶通訊平臺能采集SECS/GEM設備數據并完成生產流程控制。
■ 產品
· 事件報告(Event)
· 告警上報(Alarm)
· 配方管理(Process Program Management)
· 遠程指令(Remote Control)
· 終端消息(Terminal Message)
· 數據追蹤(Trace Data Collection)
· 消息緩存(Spooling)
· 載具管理(Carrier Management)
· 基板追蹤(Substrate Tracking)
· 處理作業(Process Job)
· 控制作業(Control Job)
■ 部分典型案例
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■ 亞控“周二10點”——云上研討會