亞控半導(dǎo)體協(xié)議通訊平臺(tái)KingSECSGEM—— SECS/GEM半導(dǎo)體協(xié)議通訊專家 ■ 概述早期，半導(dǎo)體設(shè)備提供的數(shù)據(jù)接口千差萬別，上位系統(tǒng)集成的困難度與復(fù)雜程度極高。SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議應(yīng)運(yùn)而生，設(shè)備制造商只要提供符合通訊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的設(shè)備，便可快速地整合在CIM（計(jì)算機(jī)集成制造）的管理系統(tǒng)，可極大壓縮設(shè)備開發(fā)周期及項(xiàng)目成本。隨著300毫米晶圓的推出，需要機(jī)器...
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